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J-GLOBAL ID：200903078733615065

エンドエフェクタ上の物品のセンサ

Inventor： デービス,ジェームス シー.ジュニア
Applicant, Patent owner： ブルックス オートメーション,インク.
Agent (1)： 高橋 清
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1994525474
Publication number (International publication number)：1996510093
Application date： Apr. 28, 1994
Publication date： Oct. 22, 1996
Summary：

【要約】特定の位置における物品の存在が、特定の位置に物品を位置させることにより生じるキャパシタンスの変化を測定することにより検知される。この測定に使用される装置は、オシレータを含み、この周波数は3重同軸ケーブルを含む構造とボルテージフォロワ回路を含む電気回路により、測定されるキャパシタンスに対し高感度になっている。

Claim (excerpt)：

請求項1. グランドプレート、センサプレート及びシールドプレートとを含み、検出されるべき物品が該プレートに近接した時該物品と協働して該物品が近接するに従って変化するキャパシタンスを呈するように設けられた3つのプレートと、周波数が前記キャパシタンスの関数であるオシレータと、その中央コンダクタが前記センサプレートに接続され、そのインナーシールドが前記シールドプレートに接続され、そのアウターシールドが前記グランドプレートに接続された1本の3重同軸ケーブルと、前記インナーシールドに接続されたボルテージフォロワ回路と、前記オシレータの周波数を所望のアナログ又はデジタル出力信号に変換する信号調整器と、を含む対称物のセンサシステム。請求項2. 前記オシレータがR-C3角波源であり、前記ボルテ-ジフォロワが前記中央コンダクタを駆動するオシレータ信号電圧と少し異なる電圧で前記インナーシールドを駆動し、前記アウターシールドが接地されている、請求項1のセンサシステム。請求項3. R-Cオシレータのキャパシタンスを形成する検出キャパシタンスが、中央コンダクタにより駆動されるプレートと接地されたプレート間のキャパシタンスであって、検出されるべき対称物が両プレートに近接する時、該対称物により一対となる、請求項1のセンサシステム。請求項4. 前記信号調整回路が周波数一電圧回路又はデジタル周波数カウンタ回路を含み、アナログ又はデジタル出力が後段の計算回路により直接使われるか又はスイッチ動作のためにイエス・ノー型信号に変換される、請求項1のセンサシステム。請求項5. 孔を有し物品を位置させる平面を形成する支持プレートと、前記平面に近接し且つ下側に隙間を空けた前記孔内のセンサプレートであって、これにより該センサプレートと支持プレート間のキャパシタンスの一部を該センサプレートと支持プレートとの相互位置により生成し、またこれにより物品が前記支持プレート上に位置する時キャパシタンスが増加するセンサプレートと、前記支持プレートとセンサプレート間の他の主なキャパシタンスから前記センサプレートをシールドするために設けられる被駆動シールドと、前記センサプレートに接続される入力を有し、前記キャパシタンスの関数である周波数を有するオシレータと、発振中に前記センサプレートと前記シールド間の電圧を無にするための手段と、前記周波数を測定する手段と、を有する支持プレート上の物品の存在を検知するための装置。請求項6. 前記信号調整回路が発振信号を前記オシレータへの電源リード上で変化する電流に変換するように構成された回路を含む、請求項5のセンサシステム。請求項7. 前記信号調整回路が前記変化する電流を前記オシレータの元の発振を模写する電圧波形に変換するように適用された回路を含む、請求項6のセンサシステム。請求項8. 前記信号調整回路が、前記電圧波形を周波数又はオン/オフスイッチ信号に比例するアナログ電圧に変換するように適用された回路を含む、請求項7のセンサシステム。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  G01R 27/26 ,  G01V 3/08

FI (3)：

H01L 21/68 L ,  G01R 27/26 C ,  G01V 3/08 D