Pat

J-GLOBAL ID：200903078739941819

研磨粒子及びその製造方法

Inventor： 谷 和憲 ,  横井 紀昭 ,  堀本 真樹
Applicant, Patent owner： 日本ミクロコーティング株式会社
Agent (1)： 竹内 澄夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000329648
Publication number (International publication number)：2002097456
Application date： Sep. 25, 2000
Publication date： Apr. 02, 2002
Summary：

【要約】【課題】研磨対象物を高い研磨力で精度よく研磨できる研磨粒子及びその製造方法を提供することである。【解決手段】母粒子、及びこの母粒子の表面に複数付着固定した子粒子、から構成される。母粒子としては、弾性を有する平均粒径1〜100μmの球状ポリマー粒子が使用される。子粒子としては、母粒子の平均粒径の1/500〜1/10の大きさの硬質の粒子が使用される。

Claim (excerpt)：

母粒子、及びこの母粒子の表面に複数付着固定した子粒子、から成る研磨粒子。

IPC (2)：

C09K 3/14 550 ,  B24B 37/00

FI (2)：

C09K 3/14 550 C ,  B24B 37/00 H

F-Term (2)：

3C058AA07 ,  3C058DA02