プロービング装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：須山佐一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991230343
Publication number (International publication number)：1994053294
Application date： Sep. 10, 1991
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】作業効率の低下を招くことなくプロービングカードの温度を一定に保つことができ、常に均一な接触圧で精度の良い試験測定を行うことのできるプロービング装置を提供する。【構成】プロービングカード1のプリント基板2の上面には、リング状等に形成された温度制御ユニット6が固定されている。この温度制御ユニット6は、その内部に加熱機構として、セラミックスヒータ6aと、プリント基板2の温度検出するためのの温度検出器6bが設けられている。また、温度制御ユニット6の上面または下面には、電力供給用端子6cと、温度センサ用端子6dとが設けられており、これらの電力供給用端子6c、温度センサ用端子6dを介して、プロービング装置本体に設けられた温度制御用電力供給機構10に電気的に接続されている。

Claim (excerpt)：

被測定基板の電極に対応して複数のプロービング針が配列されたプロービングカードと、前記被測定基板を保持して所定温度に加熱する基板保持台と、前記基板保持台を駆動して前記被測定基板の電極と前記プロービングカードの前記プロービング針とを接触させる駆動機構とを具備したプロービング装置において、前記プロービングカードを所定温度に加熱するプロービングカード温度制御機構を設けたことを特徴とするプロービング装置。

IPC (2)：

H01L 21/66 , G01R 1/073

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平3-158764
特開平1-278739
特開平2-192749

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