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J-GLOBAL ID:200903078758188897
搬送台退避機構
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
高橋 敏忠 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991269475
Publication number (International publication number):1993105232
Application date: Oct. 17, 1991
Publication date: Apr. 27, 1993
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】 磁気浮上搬送装置の搬送路内を浮上走行する搬送台を搬送軌道上から一時外して退避せしめるための退避機構の提供。【構成】 隔壁で包囲されて外部雰囲気から遮断された搬送路1と、対象物を載置する搬送台18-1,18-2と、該搬送台が走行する軌道と、搬送台を浮上させ且つ走行させるための複数の磁極12とを含み、該磁極からの磁力の作用により搬送台は軌道及び隔壁に対して非接触状態を維持しつつ搬送路を浮上走行する磁気浮上搬送装置で用いられる搬送台退避機構において、搬送台を保持するための保持手段30と、該保持手段を垂直方向に移動せしめる垂直移動手段40とを含む。
Claim (excerpt):
隔壁で包囲されて外部雰囲気から遮断された搬送路と、対象物を載置する搬送台と、該搬送台が走行する軌道と、搬送台を浮上させ且つ走行させるための複数の磁極とを含み、該磁極からの磁力の作用により搬送台は軌道及び隔壁に対して非接触状態を維持しつつ搬送路を浮上走行する磁気浮上搬送装置で用いられる搬送台退避機構において、搬送台を保持するための保持手段と、該保持手段を垂直方向に移動せしめる垂直移動手段とを含むことを特徴とする搬送台退避機構。
IPC (6):
B65G 54/02
, B60L 13/10
, B61B 1/00
, B61B 13/08
, B65G 49/00
, H01L 21/68
Patent cited by the Patent:
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