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J-GLOBAL ID：200903078762672140

円筒状被検物の表面凹凸欠陥検出方法

Inventor： 崎田 隆二
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 高野 明近 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995169058
Publication number (International publication number)：1997021628
Application date： Jul. 04, 1995
Publication date： Jan. 21, 1997
Summary：

【要約】【課題】 感光体ドラムで例示される円筒状被検物の凹凸欠陥を光学的に検出するに際し、その高さ(あるいは深さ)をも測定できる方法の提供。【解決手段】 一平面内を伝播する平行光又はスリット光2を光源1から照射し、円筒状被検物3を透過してくる光2による稜線31の像をCCDラインセンサ5上に結像レンズ4により形成して被検物を撮像し、CCDラインセンサ5の各画素において受光する光量の分布に応じる出力信号から、稜線31の変化として現われる該被検物の凹凸欠陥を検出する。図(B)に示すように、光軸21は、光源1の中心,撮像位置3,レンズ4の中心,CCDラインセンサ5の中心を通る。

Claim (excerpt)：

円筒状被検物を回転させながら、その稜線をラインセンサで撮像し、該ラインセンサの各画素において受光する光量の分布に応じる出力信号から円筒状被検物の凹凸欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検出方法。

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00

FI (3)：

G01B 11/30 A ,  G01N 21/88 A ,  G06F 15/62 380