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J-GLOBAL ID：200903078782114853

表面処理品の製造方法

Inventor： 湯浅 基和 ,  別所 知之 ,  日野 守
Applicant, Patent owner： 積水化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998045393
Publication number (International publication number)：1999241165
Application date： Feb. 26, 1998
Publication date： Sep. 07, 1999
Summary：

【要約】【課題】 大気圧近傍の圧力の下で、基材の片面に連続的に製膜でき、且つ、膜厚及び膜質の均一性に優れた積層体の製造方法を提供する。また、薄膜と基材等との密着性に優れた表面処理品の製造方法を提供する。【解決手段】 少なくとも一方の対向面に固体誘電体60〜63が設置された対向電極30/40、31/41間に処理用ガス90、91を導入して、大気圧近傍の圧力となし、対向電極30/40、31/41間に電圧立ち上がり時間が100μs以下、電界強度が1〜100kV/cmのパルス化された電界を印加することにより、放電プラズマを発生させるとともに、前記対向電極対向電極30/40、31/41間に、基材12を連続して、且つ、何れか一方の対向面30、31に密着させて通過させる。基材又は少なくとも1種の薄膜が積層された面に予めプラズマ処理する。

Claim (excerpt)：

少なくとも一方の対向面に固体誘電体が設置された対向電極間に処理用ガスを導入して、大気圧近傍の圧力となし、対向電極間に電圧立ち上がり時間が100μs以下、電界強度が1〜100kV/cmのパルス化された電界を印加することにより、放電プラズマを発生させるとともに、前記対向電極間に、基材を連続して、且つ、何れか一方の対向面に密着させて通過させることを特徴とする表面処理品の製造方法。

IPC (6)：

C23C 14/56 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/50 ,  C23C 16/54 ,  C08J 7/00 306

FI (7)：

C23C 14/56 A ,  C23C 14/56 F ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/50 ,  C23C 16/54 ,  C08J 7/00 306