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J-GLOBAL ID：200903078822032642

微粒子分析装置およびその方法

Inventor： 武 内 一 夫 ,  奥 山 喜久夫 ,  京 藤 倫 久 ,  阪 田 健 一
Applicant, Patent owner： 理化学研究所
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997097320
Publication number (International publication number)：1998288601
Application date： Apr. 15, 1997
Publication date： Oct. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ナノメータオーダの微粒子の粒径や粒子数、成分等を定量的に求めることができる微粒子分析装置およびその方法を提供する。【解決手段】 本発明による微粒子分析装置は、大気雰囲気中に浮遊する微粒子を引き込むサンプリング装置1と、引き込んだ個々の微粒子を帯電させる荷電装置2と、帯電した微粒子を電気移動度に応じて粒径毎に分級する微分型電気移動度分級器(DMA)3と、分級された微粒子毎にその成分および量を測定する高周波誘導結合プラズマ質量分析計(ICP-MS)4と、分級された微粒子の粒子数を計数するファラデーカップ電流計(FCE)5とを備えている。なお、高周波誘導結合プラズマ質量分析計4とファラデーカップ電流計5とは、微分型電気移動度分級器3に分岐部6を介して並列に接続されている。

Claim (excerpt)：

雰囲気中に浮遊する微粒子を分析する微粒子分析装置において、雰囲気中から引き込まれた微粒子を帯電させる荷電装置と、前記荷電装置にて帯電した微粒子を粒径毎に分級する分級器と、前記分級器により分級された微粒子毎にその成分および量を測定する質量分析計とを備えたことを特徴とする微粒子分析装置。

IPC (2)：

G01N 27/68 ,  G01N 27/64

FI (2)：

G01N 27/68 A ,  G01N 27/64 D

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• エアロゾル粒子質量分析器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-222789   Applicant：工業技術院長
• 特開昭62-043540
  

Cited by examiner (2)

• エアロゾル粒子質量分析器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-222789   Applicant：工業技術院長
• 特開昭62-043450