電子線またはX線用化学増幅系ネガ型レジスト組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000049639
Publication number (International publication number)：2001242625
Application date： Feb. 25, 2000
Publication date： Sep. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】電子線またはX線の使用に対して感度と解像性・レジスト形状の特性を満足する電子線またはX線用ネガ型化学増幅系レジスト組成物を提供する。【解決手段】(1)フェノール性水酸基が部分的に、アルキルエーテル化,アリールエーテル化,アルケニルエーテル化あるいはアラルキルエーテル化されたポリビニルフェノール、及びフェノール性水酸基が部分的に、アルキルエーテル化,アリールエーテル化,アルケニルエーテル化あるいはアラルキルエーテル化された水素添加ポリビニルフェノールからなる群から選択される少なくとも1種を含有するアルカリ可溶性樹脂、(2)酸により架橋する架橋剤、及び(3)特定構造を有する電子線またはX線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とする電子線またはX線用化学増幅系ネガ型レジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(1)フェノール性水酸基が部分的に、アルキルエーテル化,アリールエーテル化,アルケニルエーテル化あるいはアラルキルエーテル化されたポリビニルフェノール、及びフェノール性水酸基が部分的に、アルキルエーテル化,アリールエーテル化,アルケニルエーテル化あるいはアラルキルエーテル化された水素添加ポリビニルフェノールからなる群から選択される少なくとも1種を含有するアルカリ可溶性樹脂、(2)酸により架橋する架橋剤、及び(3)下記一般式(I)〜一般式(III)で表される電子線またはX線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とする電子線またはX線用化学増幅系ネガ型レジスト組成物。【化1】一般式(I)〜(III)において、R1〜R37は、同一又は異なって、水素原子、直鎖状、分岐状あるいは環状アルキル基、直鎖状、分岐状あるいは環状アルコキシ基、ヒドロキシル基、ハロゲン原子、又は-S-R38基を表す。R38は、直鎖状、分岐状あるいは環状アルキル基又はアリール基を表す。また、R1〜R15、R16〜R27あるいはR28〜R37 のうち、2つ以上が結合して、単結合、炭素、酸素、イオウ、及び窒素から選択される1種又は2種以上を含む環を形成していてもよい。X-は、少なくとも1個のフッ素原子、少なくとも1個のフッ素原子で置換された直鎖状、分岐状あるいは環状アルキル基、少なくとも1個のフッ素原子で置換された直鎖状、分岐状あるいは環状アルコキシ基、少なくとも1個のフッ素原子で置換されたアシル基、少なくとも1個のフッ素原子で置換されたアシロキシ基、少なくとも1個のフッ素原子で置換されたスルホニル基、少なくとも1個のフッ素原子で置換されたスルホニルオキシ基、少なくとも1個のフッ素原子で置換されたスルホニルアミノ基、少なくとも1個のフッ素原子で置換されたアリール基、少なくとも1個のフッ素原子で置換されたアラルキル基、及び少なくとも1個のフッ素原子で置換されたアルコキシカルボニル基、から選択された少なくとも1種を有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸、又はアントラセンスルホン酸のアニオンを示す。

IPC (12)：

G03F 7/038 601 , C08F 12/24 , C08K 5/375 , C08L 25/18 , C08L101/06 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027 , C07C 25/18 , C07C 43/23 , C07C233/25 , C07C381/12

FI (12)：

G03F 7/038 601 , C08F 12/24 , C08K 5/375 , C08L 25/18 , C08L101/06 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , C07C 25/18 , C07C 43/23 D , C07C233/25 , C07C381/12 , H01L 21/30 502 R

F-Term (45)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AD01 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB17 , 2H025CB41 , 2H025CC04 , 2H025CC17 , 4H006AA01 , 4H006AB40 , 4H006AB49 , 4H006AB76 , 4H006BJ50 , 4H006BN10 , 4H006BN30 , 4H006BU46 , 4H006EA22 , 4H006GN05 , 4H006GP03 , 4J002BC121 , 4J002EJ026 , 4J002EJ046 , 4J002EJ066 , 4J002EN066 , 4J002EV056 , 4J002EV057 , 4J002GP03 , 4J100AB07P , 4J100AB15P , 4J100BA02P , 4J100BA03P , 4J100BA04P , 4J100BA05P , 4J100BA06P , 4J100BC04P , 4J100BC43P , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100JA38

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