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J-GLOBAL ID：200903078838592761

ディスク基板及びその製造方法、磁気ディスク

Inventor： 杉崎 信雄 ,  船本 進 ,  屋久 四男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (3)： 小川 勝男 ,  田中 恭助 ,  佐々木 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003071814
Publication number (International publication number)：2004280961
Application date： Mar. 17, 2003
Publication date： Oct. 07, 2004
Summary：

【課題】ガラス基板の面粗さが小さくなるに伴いテクスチャ痕(溝)の密度は高くなるが、その上に成膜された磁性膜の磁気異方性は増加しない。【解決手段】ガラス基板の1段目のテクスチャ加工は、平均粒径が120nmの多結晶ダイヤモンドを砥粒として、テープ押しつけ圧2kgで、ガラス基板1の両面を20秒間研磨加工を行った。2段目の加工では、平均粒径80nmの多結晶ダイヤモンドを砥粒として、押しつけ圧2kgで、20秒間研磨加工を行った。これにより、ディスク基板の平均面粗さRaを0.3nm以下とし、2乗平均傾斜角Δaを0.02rad以上とし、テクスチャ溝の密度を50本/μm以上とする。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

ガラス基板の表面の円周方向に複数の溝と突部を有するディスク基板において、前記表面は算術平均面粗さRaが0.3nm以下であり、前記突部の2乗平均傾斜角Δaが0.02rad以上であり、前記溝の密度が50本/μm以上であることを特徴とするディスク基板。

IPC (2)：

G11B5/73 ,  G11B5/84

FI (2)：

G11B5/73 ,  G11B5/84 A

F-Term (11)：

5D006CB04 ,  5D006CB07 ,  5D006DA03 ,  5D006FA05 ,  5D006FA09 ,  5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112BA09 ,  5D112GA02 ,  5D112GA13 ,  5D112GA14