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J-GLOBAL ID：200903078844551180

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

Inventor： 沢辺 賢
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002067054
Publication number (International publication number)：2003262956
Application date： Mar. 12, 2002
Publication date： Sep. 19, 2003
Summary：

【要約】【課題】 感度、解像性、密着性、現像性、めっき浴汚染性、生産性及び作業性が優れ、プリント配線の高密度化に有用なプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物並びに(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記(C)成分が一般式(1)、一般式(2)、一般式(3)又は一般式(4)で表される化合物の群から選ばれる少なくとも1種を必須成分とする感光性樹脂組成物。【化1】

Claim (excerpt)：

(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物並びに(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記(C)成分が一般式(1)、一般式(2)、一般式(3)又は一般式(4)で表される化合物の群から選ばれる少なくとも1種を必須成分とする感光性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 はフェニル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、ハロゲン原子、-OR8 、-SR9 もしくは-N(R10)(R11)の1個以上で置換されてもよい。)、炭素数1〜20のアルキル基(但し、アルキル基の炭素数が2〜20の場合、主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子を有するか、および/または1個以上の水酸基で置換されてもよい。)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基、ベンゾイル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、-OR8 、-SR9 もしくは-N(R10)(R11)の1個以上で置換されてもよい。)、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基(但し、アルコキシル基の炭素数が2〜11の場合、該アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子を有するか、および/または1個以上の水酸基で置換されてもよい。)、フェノキシカルボニル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、ハロゲン原子、-OR8 もしくは-N(R10)(R11)の1個以上で置換されてもよい。)、シアノ基、ニトロ基、-CON(R10)(R11)、炭素数1〜4のハロアルキル基、-S(O)m-R12(但し、R12は炭素数1〜6のアルキル基を示し、mは1または2である。)、-S(O)m-R13(但し、R13は炭素数6〜12のアリール基を示し、炭素数1〜12のアルキル基で置換されてもよく、mは1または2である。)、炭素数1〜6のアルコキシスルホニル基、炭素数6〜10のアリーロキシスルホニル基、またはジフェニルホスフィノイル基を示し;R2 は炭素数2〜12のアルカノイル基(但し、ハロゲン原子もしくはシアノ基の1個以上で置換されてもよい。)、その二重結合がカルボニル基と共役していない炭素数4〜6のアルケノイル基、ベンゾイル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、ハロゲン原子、シアノ基、-OR8 、-SR9 もしくは-N(R10)(R11)の1個以上で置換されていてもよい。)、炭素数2〜6のアルコキシカルボニル基、またはフェノキシカルボニル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基もしくはハロゲン原子の1個以上で置換されてもよい。)を示し;R3 、R4 、R5 、R6 およびR7 は相互に独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、またはフェニル基(但し、-OR8 、-SR9 もしくは-N(R10)(R11)の1個以上で置換されていてもよい。)、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基(但し、アルコキシル基の炭素数が2〜11の場合、該アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子を有するか、および/または1個以上の水酸基で置換されてもよい。)、フェノキシカルボニル基、-OR8(但し、R8 はフェニル環中もしくはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、5-員環もしくは6-員環を形成してもよい。)、-SR9(但し、R9 はフェニル環中のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、5-員環もしくは6-員環を形成してもよい。)、-S(O)R9(但し、R9 はフェニル環中のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、5-員環もしくは6-員環を形成してもよい。)、-SO2 R9(但し、R9 はフェニル環中のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、5-員環もしくは6-員環を形成してもよい。)、または-N(R10)(R11)(但し、R10および/またはR11はフェニル環中のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、5-員環もしくは6-員環を形成してもよい。)を示し、かつR3 、R4 、R5 、R6 およびR7 の少なくとも一つは-OR8 、-SR9 または-N(R10)(R11)であり;R8 は水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、置換された炭素数2〜6のアルキル基{但し、置換基は、水酸基、メルカプト基、シアノ基、炭素数1〜4のアルコキシル基、炭素数3〜6のアルケニルオキシ基、2-シアノエトキシ基、炭素数4〜7の2-(アルコキシカルボニル)エトキシ基、炭素数2〜5のアルキルカルボニルオキシ基、フェニルカルボニルオキシ基、カルボキシル基もしくは炭素数2〜5のアルコキシカルボニル基の1個以上からなる。}、主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子を有する炭素数2〜6のアルキル基、炭素数2〜8のアルカノイル基、-(CH2 CH2 O)nH(但し、nは1〜20の整数である。)、炭素数3〜12のアルケニル基、炭素数3〜6のアルケノイル基、シクロヘキシル基、フェニル基(但し、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数1〜4のアルコキシル基で置換されてもよい。)、炭素数7〜9のフェニルアルキル基、-Si(R14)r(R15)3-r(但し、R14は炭素数1〜8のアルキル基を示し、R15はフェニル基を示し、rは1〜3の整数である。)、下記式で表される基【化2】、または下記式で表される基【化3】を示し;R9 は水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数3〜12のアルケニル基、シクロヘキシル基、置換された炭素数2〜6のアルキル基{但し、置換基は、水酸基、メルカプト基、シアノ基、炭素数1〜4のアルコキシル基、炭素数3〜6のアルケニルオキシ基、2-シアノエトキシ基、炭素数4〜7の2-(アルコキシカルボニル)エトキシ基、炭素数2〜5のアルキルカルボニルオキシ基、フェニルカルボニルオキシ基、カルボキシル基もしくは炭素数2〜5のアルコキシカルボニル基の1個以上からなる。}、主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子もしくは硫黄原子を有する炭素数2〜12のアルキル基、フェニル基(但し、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数1〜4のアルコキシル基で置換されてもよい。)、炭素数7〜9のフェニルアルキル基、下記式で表される基【化4】、または下記式で表される基【化5】を示し;R10およびR11は相互に独立に水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜4のヒドロキシアルキル基、炭素数2〜10のアルコキシアルキル基、炭素数3〜5のアルケニル基、炭素数5〜12のシクロアルキル基、炭素数7〜9のフェニルアルキル基、フェニル基(但し、炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数1〜4のアルコキシル基の1個以上で置換されてもよい。)、炭素数2〜3のアルカノイル基、炭素数3〜6のアルケノイル基、ベンゾイル基を示すか、あるいはR10とR11が一緒になって炭素数2〜6のアルキレン基(但し、主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子もしくは-NR8 -を有するか、および/または水酸基、炭素数1〜4のアルコキシル基、炭素数2〜4のアルカノイルオキシ基もしくはベンゾイルオキシ基の1個以上で置換されてもよい。)を示すか、あるいはR10が水素原子のとき、R11は下記式で表される基【化6】、または下記式で表される基【化7】を示し;R16は炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基(但し、アルコキシル基の炭素数が2〜11の場合、該アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子を有するか、および/または1個以上の水酸基で置換されてもよい。)、フェノキシカルボニル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、ハロゲン原子、フェニル基、-OR8 もしくは-N(R10)(R11)の1個以上で置換されていてもよい。)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、-CON(R10)(R11)、シアノ基、置換されたフェニル基(但し、置換基は-SR9 である。)、または炭素数1〜12のアルキル基(但し、ハロゲン原子、水酸基、-OR2 、フェニル基、ハロゲン化フェニル基もしくは-SR9 の1個以上で置換されるか、および/または主鎖炭素原子間に酸素原子もしくは-NH(CO)-の1個以上を有してもよい。)を示し;M1 は直接結合または-R17-O-を示し;M2 は直接結合または-R17-S-を示し;M3 は直接結合、ピペラジノ基または-R17-NH-を示し;R17は炭素数1〜12のアルキレン基を示し、その炭素数が2〜12の場合、主鎖炭素原子間に酸素原子、硫黄原子もしくは-NR10-の1〜5個を有してもよい。))【化8】〔式(2)において、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 およびR7 は式(1)のそれぞれR2 、R3 、R4 、R5 、R6 およびR7 と同義であり;Mは炭素数1〜12のアルキレン基、シクロヘキシレン基、フェニレン基、-COO-R18-OCO-、-COO-(CH2 CH2 O)n-CO-(但し、nは1〜20の整数である。)、または-CO-R18-CO-を示し;R18は炭素数2〜12のアルキレン基を示す。〕【化9】〔式(3)において、R2 は式(1)のR2 と同義であり;R19は炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基(但し、アルコキシル基の炭素数が2〜11の場合、該アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子を有するか、および/または1個以上の水酸基で置換されてもよい。)、フェノキシカルボニル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、ハロゲン原子、フェニル基、-OR8 もしくは-N(R10)(R11)の1個以上で置換されていてもよい。)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、-CON(R10)(R11)、シアノ基、または置換されたフェニル基(但し、置換基は-SR9 である。)を示すか、あるいはR20、R21およびR22を有するフェニル環中の炭素原子と結合して、基R9 を介し5-員環もしくは6-員環を形成してもよく、あるいはR20、R21およびR22の少なくとも1個が-SR9 のとき、炭素数1〜12のアルキル基{但し、炭素数が2〜12の場合、主鎖炭素原子間に酸素原子もしくは-NH(CO)-の1個以上を有するか、および/またはハロゲン原子、水酸基、-OR2 、フェニル基、ハロゲン化フェニル基もしくは置換フェニル基(但し、置換基は-SR9 である。)の1個以上で置換されてもよい。}を示し;R20、R21およびR22は相互に独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基(但し、-OR8 、-SR9 もしくは-N(R10)(R11)の1個以上で置換されてもよい。)、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基(但し、アルコキシル基の炭素数が2〜11の場合、該アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子を有するか、および/または水酸基の1個以上で置換されてもよい。)、フェノキシカルボニル基、-OR8(但し、R8 はフェニル環中のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、5-員環もしくは6-員環を形成してもよい。)、-SR9(但し、R9 はフェニル環中のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、5-員環もしくは6-員環を形成してもよい。)、-S(O)R9 、-SO2 R9 、または-N(R10)(R11)(但し、R10および/またはR11はフェニル環中のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、5-員環もしくは6-員環を形成してもよい。)を示し、かつR20、R21およびR22の少なくとも一つは-OR8 、-SR9 または-N(R10)(R11)であり、;R8 ,R9 、R10およびR11は式(1)のそれぞれR8 ,R9 、R10およびR11と同義である。)【化10】〔式(4)において、R2 およびMは式(1)のそれぞれR2 およびMと同義であり;R20、R21およびR22は式(3)のそれぞれR20、R21およびR22と同義である。〕

IPC (7)：

G03F 7/031 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F291/00 ,  G03F 7/004 512 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18

FI (7)：

G03F 7/031 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/50 ,  C08F291/00 ,  G03F 7/004 512 ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/18 D

F-Term (58)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC83 ,  2H025CA06 ,  2H025CA27 ,  2H025CB43 ,  2H025CB51 ,  2H025FA17 ,  2H025FA43 ,  4J011PA65 ,  4J011PA69 ,  4J011PA85 ,  4J011PA86 ,  4J011PA88 ,  4J011PA96 ,  4J011PC02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA04 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA22 ,  4J011UA01 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA42 ,  4J026AB01 ,  4J026AB04 ,  4J026AB11 ,  4J026AC33 ,  4J026AC36 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339CE16 ,  5E339CF15 ,  5E343AA02 ,  5E343AA12 ,  5E343BB71 ,  5E343CC62 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343FF12 ,  5E343GG03 ,  5E343GG08 ,  5E343GG11