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J-GLOBAL ID：200903078879243780

LSI用不良解析装置

Inventor： 藤井 美津男 ,  新島 宏信
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト ,  株式会社東芝
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996250341
Publication number (International publication number)：1998090366
Application date： Sep. 20, 1996
Publication date： Apr. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】 スキャンデザインされたDUT(LSI)のCAD設計データを利用して速やかに不良解析ができるLSI用不良解析装置を提供する。【解決手段】 レイアウト処理部220は、レイアウトデータ20を内部レイアウトデータに変換し、スキャンコーンリストデータとの対応をとり、記憶してレイアウト表示を行う。スキャンコーン処理部210は、ネットリストデータ10を内部ネットリストデータに、スキャンセルのセルタイプ名データ40を内部スキャンセルタイプ名データに変換し、内部ネットリストデータと内部スキャンセルタイプ名データとでスキャンコーンリストデータを生成し、内部レイアウトデータと対応をとり、記憶してネットリスト表示を行う。対応処理部230は、ネットリスト対レイアウト対応情報データ30を内部データに変換し、内部レイアウトデータとスキャンコーンリストデータとの対応をとる。

Claim (excerpt)：

LSI設計CADデータを利用して、スキャン設計されたLSIであるDUTを不良解析するLSI用不良解析装置において、レイアウトデータを入力してこれを内部レイアウトデータに変換し、スキャンコーンリストデータとの対応をとり、記憶する処理をしてレイアウト表示を行うレイアウト処理部と、ネットリストデータを入力してこれを内部ネットリストデータに変換し、スキャンセルのセルタイプ名データを入力してこれを内部スキャンセルタイプ名データに変換し、前記内部ネットリストデータと前記内部スキャンセルタイプ名データとでスキャンコーンリストデータを生成し、前記内部レイアウトデータと対応をとり、記憶する処理をしてネットリスト表示を行うスキャンコーン処理部と、ネットリスト対レイアウト対応情報データを入力してこれを内部データに変換し、該内部データでもって前記内部レイアウトデータと前記スキャンコーンリストデータとの対応をとる処理をする対応処理部とを有し、対応付けられた前記内部レイアウトデータまたは前記スキャンコーンリストデータでもって不良解析を行うことを特徴とするLSI用不良解析装置。

IPC (2)：

G01R 31/28 ,  G06F 11/22 360

FI (2)：

G01R 31/28 G ,  G06F 11/22 360 P