Pat

J-GLOBAL ID：200903078886905771

光電子分光装置

Inventor： 岩本 隆
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 竹本 松司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001013212
Publication number (International publication number)：2002214170
Application date： Jan. 22, 2001
Publication date： Jul. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 光電子分光装置の空間分解能等の測定精度を高め、また、検出器と電子発生位置との位置合わせ、及び検出器と電子発生位置の軸と磁場の軸との軸調整を行う。【解決手段】 試料Sから発生した電子を検出する光電子分光装置において、試料Sから飛散した電子の空間的飛散状態を検出する電子検出手段6と、電子の軌道を調整する電子軌道調整手段11〜13とを備えた構成とし、電子検出手段6の出力を電子軌道調整手段11〜13にフィードバックし、電子検出手段6の検出分布に基づいて試料Sから飛散した光電子の空間的飛散状態を検出することによって光電子の検出器からのずれ、光電子の磁場からのずれを直接的に測定し、この測定に基づいて電子軌道調整手段11〜13を制御し、検出器21と電子発生位置との位置合わせ、及び検出器21と電子発生位置の軸と磁場の軸との軸調整を行い、光電子分光装置の空間分解能等の測定精度を向上させる。

Claim (excerpt)：

試料から発生した電子を検出する光電子分光装置において、試料から飛散した電子の空間的飛散状態を検出する電子検出手段と、前記電子の軌道を調整する電子軌道調整手段とを備え、前記電子検出手段の出力を前記電子軌道調整手段にフィードバックし、前記電子検出手段の検出分布に基づいて前記電子軌道調整手段を制御し、電子の軌道を調整することを特徴とする光電子分光装置。

IPC (4)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/244 ,  H01J 49/06 ,  H01J 49/48

FI (4)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/244 ,  H01J 49/06 ,  H01J 49/48

F-Term (35)：

2G001AA01 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA06 ,  2G001DA09 ,  2G001DA10 ,  2G001EA04 ,  2G001FA01 ,  2G001GA04 ,  2G001GA08 ,  2G001GA10 ,  2G001GA11 ,  2G001GA13 ,  2G001JA05 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA16 ,  2G001JA20 ,  2G001KA01 ,  2G001KA13 ,  2G001PA07 ,  5C033NN10 ,  5C033NP01 ,  5C033NP04 ,  5C033NP06 ,  5C033RR04 ,  5C033RR08 ,  5C038FF05 ,  5C038FF08 ,  5C038FF11 ,  5C038KK07 ,  5C038KK10 ,  5C038KK17