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J-GLOBAL ID：200903078946934547

新規なジ(メタ)アクリル酸エステルおよびその(共)重合体

Inventor： 茶本 茂廊 ,  森川 敏行
Applicant, Patent owner： ヤスハラケミカル株式会社
Agent (1)： 白井 重隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001347166
Publication number (International publication number)：2003147019
Application date： Nov. 13, 2001
Publication date： May. 21, 2003
Summary：

【要約】【課題】 高解像度付与性、耐ドライエッチング性、レジストの透明性、基板などとの密着性などの性能を向上させた高性能フォトレジストの材料を提供すること。【解決手段】 p-メンタン-1,8-ジ(メタ)アクリレートなどの新規な第三級テルペン系ジ(メタ)アクリル酸エステルおよびその(共)重合体。

Claim (excerpt)：

下記式(1)に示す環状テルペン基を有する新規なジ(メタ)アクリル酸エステル。【化1】(上記式中、Tは環状テルペン基、X1,X2は互いに同一または異なりメチル基または水素原子を表す。)

IPC (2)：

C08F 20/20 ,  C07C 69/54

FI (2)：

C08F 20/20 ,  C07C 69/54 B

F-Term (23)：

4H006AA01 ,  4H006AB46 ,  4H006BJ20 ,  4J100AB07Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL65P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA04Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC12P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100JA01 ,  4J100JA05 ,  4J100JA07 ,  4J100JA11 ,  4J100JA33 ,  4J100JA38 ,  4J100JA39