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J-GLOBAL ID：200903078975367082
光測定方法及びその装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994055416
Publication number (International publication number)：1995260678
Application date： Mar. 25, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：
【要約】【目的】 全反射分光法で実用的な励起スペクトルを測定する光測定方法及びその装置を提供する。【構成】 入射角度や検出角度を調整することにより、入射光が試料に照射される表面、あるいは界面から一定の深さの試料領域のみを測定する。
Claim (excerpt)：
光源からの複数の波長の光で照射した試料の同一の深さの領域から生じた検出光を測定することを特徴とする光測定方法。
IPC (4)：
G01N 21/27
, G01N 21/00
, G01N 21/64
, H01L 21/66
