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J-GLOBAL ID：200903078978973200

走査型プローブ顕微鏡のスキャナ駆動方法

Inventor：
北島 周

About 北島 周


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001345939
Publication number (International publication number)：2003149117
Application date： Nov. 12, 2001
Publication date： May. 21, 2003
Summary：
【要約】【課題】 プローブまたは試料が円弧状に走査されることに起因するエラーの影響を回避できるようにする走査型プローブ顕微鏡のスキャナ駆動方法を提供すること。【解決手段】 X軸駆動信号発生部10は、X軸駆動信号14を発生し、X軸駆動用ボイスコイルモータ1に出力してスキャナのX軸を駆動するとともにΔZ算出部13にも送る。ΔZ算出部13は、X軸駆動信号14を受け取って現在の走査位置Xを求め、このXと長さ値R記憶部12に記憶された駆動体部4のZ軸方向の長さ値Rとから補正パラメータΔZを求めて、Z軸駆動信号発生部11に送る。Z軸駆動信号発生部11は、受け取ったΔZを用いて補正を行い、補正されたZ軸駆動信号15をZ軸駆動用ボイスコイルモータ3に出力してスキャナのZ軸を駆動する。
Claim (excerpt)：
プローブ-試料間に生じる原子間力等の物理量を検出する手段と、プローブと試料の相対位置を三次元的に変位させるスキャナと、プローブ-試料間の距離を制御する手段と、これら全体を統括制御する手段を有する走査型プローブ顕微鏡のスキャナ駆動方法において、スキャナのZ軸方向の長さ値および現在の走査位置を示す値とから補正パラメータを求め、それを用いてスキャナのZ軸の駆動量を補正することを特徴とする、走査型プローブ顕微鏡のスキャナ駆動方法。
IPC (2)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30
FI (2)：
G01N 13/10 A ,  G01B 21/30
F-Term (12)：
2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069EE10 ,  2F069EE22 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ05 ,  2F069LL03 ,  2F069MM33
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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