Pat

J-GLOBAL ID：200903079003957234

回転型欠陥検査装置

Inventor： 萩原 恒幸
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993211245
Publication number (International publication number)：1995063689
Application date： Aug. 26, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 簡単な信号処理系を用いて且つ高速に、回路パターン等が形成された基板の表面の欠陥検査を行う。【構成】 光源26からの光束29をウエハ1の被検点P上に照射する。被検点Pからの光束32が、フーリエ変換レンズ31を経て後側焦点面33上に被検点P上の回路パターンのフーリエ変換スペクトルを形成する。そのフーリエ変換スペクトルから、空間フィルタ34により誤りが無い場合のフーリエ変換スペクトルを除去した後の光束を、光電変換素子41で受光する。ウエハ1をターンテーブル21により回転すると共にy方向に移動させながら、空間フィルタ34をウエハ1と同期して回転する。

Claim (excerpt)：

所定のパターンが形成された基板の表面の欠陥を検査する装置において、前記基板の表面の所定面積の検査領域に検査用の光束を照射する照明手段と、前記基板からの光束をフーリエ変換するフーリエ変換光学素子と、該フーリエ変換光学素子によるフーリエ変換面の近傍に配置され、前記基板上の所定のパターンに欠陥が無い場合の無誤り基準パターンのフーリエ変換パターンの明部と一致する部分を遮光部とした空間フィルタと、該空間フィルタを通過した光束を光電変換する光電変換手段と、前記フーリエ変換光学素子の光軸に平行な回転軸を中心として前記基板を回転するターンテーブルと、該ターンテーブルの回転に同期して前記空間フィルタを所定の軸を中心として回転するフィルター回転手段と、前記フーリエ変換光学素子の光軸に垂直な面内で前記基板を移動する移動手段と、を有し、前記ターンテーブル及び前記移動手段を介して前記基板に回転及び移動を行わせることにより、前記所定面積の検査領域で前記基板の表面をスパイラル状に走査し、前記基板の回転に同期して前記フィルター回転手段を介して前記空間フィルタを回転して、前記光電変換手段から出力される光電変換信号より前記基板上の所定のパターンの欠陥を検査することを特徴とする回転型欠陥検査装置。