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J-GLOBAL ID：200903079005246980

2種類混合気体の濃度測定方法及び濃度測定装置

Inventor： 黒河 明 ,  一村 信吾 ,  野中 秀彦
Applicant, Patent owner： 経済産業省産業技術総合研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000153979
Publication number (International publication number)：2001330543
Application date： May. 25, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 従来の混合気体の濃度測定に際して、混合気体の圧力が大気圧以外の時には正確な混合比(濃度)が測定できず、また、熱や光を照射する測定方法では、爆発の危険性のある混合気体は測定できない等の問題があった。【解決手段】 例えば酸素とオゾンのように予め構成する気体が知られているが混合比が不明な2種類混合気体の配管4に対して、例えば隔膜真空計等の絶対圧力を測定する絶対圧力測定子1と、気体の物性値として例えば粘性に敏感な圧力計である水晶摩擦真空計、スピニングロータゲージ、あるいはその他の物性値に敏感な圧力測定子2とを接続し、同時に圧力を測定する。両圧力測定値から混合気体の真の物性値を求め、物性値と濃度の対応データから濃度を求める。

Claim (excerpt)：

予め構成する気体が知られている2種類混合気体の濃度測定方法において、混合気体の濃度に対応した物性値のデータを取得し、物性値に敏感な圧力測定装置により被測定混合気体の圧力を測定し、同時に前記物性値に影響を受けない圧力測定装置により同気体の圧力を測定し、両圧力測定値から混合気体の物性値を求め、該物性値から濃度を求めることを特徴とする2種類混合気体の濃度測定方法。

IPC (2)：

G01N 7/00 ,  G01L 21/00

FI (2)：

G01N 7/00 C ,  G01L 21/00 Z

F-Term (14)：

2F055AA39 ,  2F055BB08 ,  2F055CC03 ,  2F055CC42 ,  2F055CC43 ,  2F055CC44 ,  2F055CC45 ,  2F055CC46 ,  2F055DD20 ,  2F055EE40 ,  2F055FF17 ,  2F055FF38 ,  2F055FF41 ,  2F055FF45