走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田宮寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995079815
Publication number (International publication number)：1996248040
Application date： Mar. 10, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】走査型プローブ顕微鏡で、試料表面における例えば数百ミクロンの大きな範囲を測定する場合、高速に走査して短時間で測定する。【構成】カンチレバー15の先部に設けられた探針16を試料11の表面に接近させ、探針を試料表面に沿って走査移動させて試料表面の形状に関する情報を得る方法であり、探針に小さい振幅の振動を定常的に与え、さらに探針に大きな振幅の振動を断続的に与え、探針に大きな振幅の振動を与えた状態で、探針の振幅が小さい振幅と大きい振幅の間の範囲に含まれる値となるように前記探針を試料に接近させ、試料の表面形状に関する情報を求める。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの先部に設けられた探針を試料の表面に接近させ、前記探針を前記試料表面に沿って走査移動させて前記試料表面の形状に関する情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、探針に小さい振幅の振動を定常的に与え、さらに前記探針に大きな振幅の振動を断続的に与える加振手段と、前記探針を前記試料に接近させる移動手段と、前記探針の位置変化を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段の検出信号を入力し、前記大きな振幅で振動する前記探針を、その振幅が前記小さい振幅と前記大きい振幅の間の範囲に含まれる値となるように前記試料に接近させるように移動手段を制御する制御手段と、前記制御手段の制御信号に基づき前記試料の表面形状に関する情報を求める処理手段と、からなることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 A , G01B 21/30 Z , H01J 37/28 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開平4-184201
電気力プローブ顕微鏡走査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-029511 Applicant：工業技術院長

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