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J-GLOBAL ID：200903079074551212

共焦点光スキャナ

Inventor： 杉山 由美子 ,  田名網 健雄
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 渡辺 正康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995284813
Publication number (International publication number)：1997127425
Application date： Nov. 01, 1995
Publication date： May. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】試料の深さ方向のスキャンと双眼レンズへの視差スキャンを1個のアクチュエータで行い、同期回路を不要とした共焦点光スキャナを実現する。【解決手段】微小開口をアレイ状に配置したニポウディスクを高速回転させる機構と、前記ニポウディスクと対物レンズの間に配設され試料上でのピント位置を変化させるレンズと左右の接眼レンズへの視差を変化させる光学系と、前記試料上でのピント位置を変化させるレンズと光学系を一体として同時に動かす1つのアクチュエータを備える。

Claim (excerpt)：

微小開口をアレイ状に配置したニポウディスクを高速回転させる機構と、前記ニポウディスクと対物レンズの間に配設され試料上でのピント位置を変化させるレンズと左右の接眼レンズへの視差を変化させる光学系と、前記試料上でのピント位置を変化させるレンズと光学系を一体として同時に動かす1つのアクチュエータを具備し、前記接眼レンズより試料の3次元画像が観察できるように構成した共焦点光スキャナ。