Pat
J-GLOBAL ID：200903079075620412
光学測定装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
後呂 和男
, ▲高▼木 芳之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005160609
Publication number (International publication number)：2006337113
Application date： May. 31, 2005
Publication date： Dec. 14, 2006
Summary：
【課題】 比較的簡単な構成で、測定を高速、かつ高精度に行なうことが可能な光学測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】 光学装置本体30は光を出射する投光部31と、コリメータレンズ35と、対物レンズ37とを備えるとともに、イメージセンサ51、受光ピンホールアレイ55並びに、導光手段41を備える。そして、ワークWの3次元的な形状を計測するのに、光をワークW上に走査させているが、この走査をコリメータレンズ35を進退させて行なっている。そして、このときには、コリメータレンズ35と同期したタイミングでイメージセンサ51を進退させる必要があるが、本実施形態ではコリメータレンズ35とイメージセンサ51とがスライダ63によって連結され一体的に進退するから、同期をとるための機構を必要としない。従って、比較的簡単な構成で、測定を高速、かつ高精度に行なうことが可能な光学測定装置を提供することが可能となる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
投光源から出射された出射光を被測定対象物で焦点を結ぶように集光させるとともに、その反射光を撮像して撮像信号を出力する光学装置本体と、
前記測定対象物が載置される載置テーブルと、
前記光学装置本体或いは、前記載置テーブルの少なくともいずれか一方を光の光軸方向に移動させて、前記光学装置本体の光学系に対して前記測定対象物を相対移動させる相対移動手段と、
前記相対移動手段によって相対移動をさせた各時点の撮像信号に基づいて測定対象物の形状を決定する形状決定手段と、を備えた光学測定装置であって、
前記光学装置本体は、
所定間隔をもって周期的に配置される複数の前記投光源を有する投光手段と、
前記複数の前記投光源からそれぞれ出射された出射光を略平行光にするコリメータレンズと、
前記コリメータレンズによって略平行光とされた各出射光を測定対象物上に集光させる対物レンズと、
前記測定対象物で反射され、その後、前記対物レンズ並びに前記コリメータレンズを通過した反射光を前記投光手段とは異なる方向に分岐させる光分岐手段と、
前記投光手段と光学的に共役関係となる位置に配される受光ピンホールアレイと、
前記受光ピンホールアレイ上において前記投光源の配置間隔と同じ間隔、或いは相似間隔で開口し、前記コリメータレンズにより収束されつつ前記光分岐手段により分岐された前記各反射光をそれぞれ個別に通過させる受光ピンホールと、
前記受光ピンホールを通過した各反射光が入光される撮像面を有し、入光された光の光量に応じた前記撮像信号を出力可能な撮像手段と、を備えてなるとともに、
前記コリメータレンズ並びに前記撮像手段は、コリメータレンズのレンズ光軸及び撮像面の法線とが平行となるように配され、かつ、前記レンズ光軸に対して直交する方向に一体的に移動するように構成されて、前記投光源からの光を前記被測定対象物上に光走査可能とする光走査機構を形成していることを特徴とする光学測定装置。
IPC (1)：
FI (2)：
G01B11/24 K
, G01B11/24 A
2F065AA02
, 2F065AA06
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD02
, 2F065FF04
, 2F065FF10
, 2F065FF41
, 2F065FF67
, 2F065GG06
, 2F065GG15
, 2F065GG18
, 2F065HH04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL10
, 2F065LL12
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065MM14
, 2F065MM16
, 2F065MM24
, 2F065MM26
, 2F065MM28
, 2F065NN01
, 2F065PP12
, 2F065PP24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ29
, 2F065UU06
