欠陥種別判定装置及びプロセス管理システム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994234818
Publication number (International publication number)：1996094536
Application date： Sep. 29, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、欠陥発生プロセスや欠陥発生原因に密接に関連した欠陥の種別を自動的判定でき、検査結果を製造プロセスに迅速かつ正確にフィードバック可能な装置を提供することを目的とする。【構成】被検体の欠陥検査で発見された欠陥の種別を判定する欠陥種別判定装置において、発見された欠陥の種々の評価項目に関する実測値が入力され、それら個々の実測値に対応した各欠陥コードを求め、それら欠陥コードを所定の順序で並べた欠陥コードナンバーを発生する欠陥コード発生手段22〜26と、複数の欠陥コードナンバーに対応した各種欠陥名称が登録され、前記欠陥コード発生手段22〜26から与えられる欠陥コードナンバーに対応した欠陥名称を出力する欠陥名称割り出し手段28とを具備する。

Claim (excerpt)：

被検体の欠陥検査で発見された欠陥の種別を判定する欠陥種別判定装置において、発見された欠陥の種々の評価項目に関する実測値が入力され、それら個々の実測値に対応した各欠陥コードを求め、それら欠陥コードを所定の順序で並べた欠陥コードナンバーを発生する欠陥コード発生手段と、複数の欠陥コードナンバーに対応した各種欠陥名称が登録され、前記欠陥コード発生手段から与えられる欠陥コードナンバーに対応した欠陥名称を出力する欠陥名称割り出し手段とを具備したことを特徴とする欠陥種別判定装置。

IPC (6)：

G01N 21/88 , G02F 1/1333 500 , G06T 7/00 , G06T 7/60 , H01L 21/02 , H01L 21/66

FI (2)：

G06F 15/62 405 A , G06F 15/70 350 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

外観検査装置及びその調整方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-189727 Applicant：富士通株式会社
特開平3-044054

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