スパッタリングターゲット

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：則近憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993209097
Publication number (International publication number)：1995062528
Application date： Aug. 24, 1993
Publication date： Mar. 07, 1995
Summary：

【要約】【構成】本発明は、同種および/または異種の材料同士を拡散接合にて組合せてなることを特徴とするスパッタリングターゲットである。【効果】本発明によれば、パーティクルの発生が従来に比し非常に少ないスパッタリングターゲットを得ることが可能となる。

Claim (excerpt)：

同種および/または異種の材料同士を拡散接合にて組合せてなることを特徴とするスパッタリングターゲット。

IPC (2)：

C23C 14/34 , B23K 20/00 310

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

リング状複合材の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-219007 Applicant：株式会社神戸製鋼所
特開平4-333566
特開昭59-020470

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