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J-GLOBAL ID：200903079167688773

ペロブスカイト型構造単結晶用処理液及びペロブスカイト型構造単結晶の処理方法

Inventor： 岡崎 均
Applicant, Patent owner： 株式会社ジャパンエナジー
Agent (1)： 並川 啓志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995257196
Publication number (International publication number)：1997077600
Application date： Sep. 11, 1995
Publication date： Mar. 25, 1997
Summary：

【要約】【課題】 窒化ガリウム系化合物半導体や酸化物超電導体の成膜に用いられるペロブスカイト型構造単結晶基板に適した処理液を得る。【解決手段】 ペロブスカイト型構造単結晶をリン酸と王水の混合液からなる処理液で処理する。

Claim (excerpt)：

リン酸と王水の混合液からなることを特徴とするペロブスカイト型構造単結晶用処理液。

IPC (7)：

C30B 33/10 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/308 ,  H01L 39/24 ZAA ,  C30B 29/22 ,  H01L 33/00

FI (8)：

C30B 33/10 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 341 L ,  H01L 21/308 G ,  H01L 39/24 ZAA B ,  C30B 29/22 A ,  C30B 29/22 Z ,  H01L 33/00 C

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特公平6-104578
  

Cited by examiner (1)

• 特公平6-104578