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J-GLOBAL ID:200903079198169898
画面の欠陥検出方法及び装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
小林 久夫
, 佐々木 宗治
, 木村 三朗
, 大村 昇
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003085301
Publication number (International publication number):2004294202
Application date: Mar. 26, 2003
Publication date: Oct. 21, 2004
Summary:
【課題】点欠陥、スジ欠陥、線欠陥及びシミ・ムラ欠陥等の欠陥をそれぞれ精度良く検出でき、しかもこれら欠陥検出で、明欠陥に限らず暗欠陥も検出でき、欠陥を検出する際の処理時間を短くすることを目的とする。【解決手段】検査対象の画像をCCDカメラ6により撮像し、撮像により取り込まれた画像から、予め作成していおいた背景画像14との差をとり検査画像15を作成し、検査画像15から点欠陥、シミ欠陥、スジ欠陥、ムラ欠陥、線欠陥、画素ムラ欠陥のそれぞれを検出する6つの検出処理を行い、各欠陥検出処理後における画像17内の各画素の輝度値に基づく輝度統計データをそれぞれ計算し、その輝度統計データに基づいて輝度値の閾値を設定し、輝度統計データと該閾値から欠陥候補を抽出する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
検査対象の画像を撮像する工程と、
撮像により取り込まれた画像から、予め作成しておいた背景画像との差をとり検査画像を作成する工程と、
検査画像から点欠陥、シミ欠陥、スジ欠陥、ムラ欠陥、線欠陥、画素ムラ欠陥のそれぞれを検出する6つの検出処理工程と、
各検出処理後における画像内の各画素の輝度値に基づく輝度統計データをそれぞれ計算する工程と、
輝度統計データに基づいて輝度値の閾値を設定し、輝度統計データと該閾値から欠陥候補を抽出する工程と、
を有することを特徴とする画面の欠陥検出方法。
IPC (3):
G01N21/88
, G01M11/00
, G02F1/13
FI (3):
G01N21/88 Z
, G01M11/00 T
, G02F1/13 101
F-Term (13):
2G051AA73
, 2G051AB07
, 2G051BB09
, 2G051CB02
, 2G051DA07
, 2G051EC01
, 2G051EC02
, 2G051EC03
, 2G051ED30
, 2G086EE10
, 2H088FA12
, 2H088FA13
, 2H088FA30
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