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J-GLOBAL ID：200903079215285643

透過型電子顕微鏡の撮影装置

Inventor： 本田敏和 ,  津野久幸
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992020984
Publication number (International publication number)：1993217537
Application date： Feb. 06, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 透過型電子顕微鏡の撮影において、スルーフォーカス機能を用いてより高分解能な情報を能率よくとり込む。【構成】 デフォーカス量をステップ状に変化させて写真撮影するスルーフォーカス機能を有する透過型電子顕微鏡において、デフォーカス条件を(mcS λ)1/2 (m:奇数,cS :球面収差係数,λ:波長)としてスルーフォーカス写真撮影を行う。【効果】 より広範囲な空間周波数に対して位相コントラストが一定となる条件を満たしたスルーフォーカスの写真を得ることができ、これらを組み合わせることにより、より高分解能な像情報を得ることが可能となる。

Claim (excerpt)：

デフォーカス量をステップ状に変化させて写真撮影するスルーフォーカス機能を有する透過型電子顕微鏡において、デフォーカス条件を(mcS λ)1/2 (m:奇数,cS :球面収差係数,λ:波長)としてスルーフォーカス写真撮影を行うようにしたことを特徴とする透過型電子顕微鏡の撮影装置。

IPC (5)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/21 ,  H01J 37/248 ,  H01J 37/26