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J-GLOBAL ID：200903079236578985

微粒子検出器のアバランシェホトダイオードの増倍率最適化方法

Inventor： 山羽 常雄 ,  川島 浩二
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994069093
Publication number (International publication number)：1995253389
Application date： Mar. 14, 1994
Publication date： Oct. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】 微粒子検出器のアバランシェホトダイオード(APD)の増幅率を最適化する。【構成】 信号処理部2に対して、MPU36と実効値算出回路(rms回路)33とを有し、第2のオペアンプ22にバイアス電圧VB を供給するバイアス電圧設定回路3を付加し、MPU36によりテストバイアス電圧VB を変化して、標準粒子を含むテストエアに対する微粒子検出動作を行い、第1のオペアンプ21-1〜21-nの各出力信号を加算し、これよりAPDが発生した過剰ノイズをコンデンサ32により抽出し、rms回路33によりその実効値Nを算出する。第1のオペアンプ21、または第1と第2のオペアンプ21,22 の各出力信号中の、標準粒子に対する出力パルスの波高値Sと、実効値NとのS/N比を算出し、S/N比が最良となる最適バイアス電圧VB を特定し、これをAPDに加圧して増幅率を最適化する。

Claim (excerpt)：

バイアス電圧が加圧されたアバランシェホトダイオードアバランシェホトダイオードを具備し、微粒子を含むサンプルエアに対してレーザビームを照射し、該微粒子の散乱光を該アバランシェホトダイオードにより受光し、該アバランシェホトダイオードの出力電流をオペアンプにより電圧に変換し、該オペアンプの出力信号を処理して、該微粒子を検出する微粒子検出器において、該オペアンプの出力側に、マイクロプロセッサと実効値算出回路とを有し、前記オペアンプにテストバイアス電圧を供給するバイアス電圧設定回路を付加し、該マイクロプロセッサにより該テストバイアス電圧を変化して、標準粒子を含むテストエアに対する微粒子検出動作を行い、該オペアンプの出力信号より、該標準粒子に対する出力パルスと該アバランシェホトダイオードの発生する過剰ノイズとを分離して、前記実効値算出回路により該過剰ノイズの実効値Nを算出し、前記マイクロプロセッサにより、該出力パルスの波高値Sと該実効値NのS/N比を算出して、該S/N比が最良となる最適バイアス電圧を特定し、該最適バイアス電圧を前記アバランシェホトダイオードに加圧して、その増倍率を最適化することを特徴とする、微粒子検出器のアバランシェホトダイオードの増倍率最適化方法。

IPC (3)：

G01N 15/14 ,  G01N 15/02 ,  G01N 15/06