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J-GLOBAL ID：200903079237219733

光ファイバープローブ評価方法、光ファイバープローブ評価装置、近接場光学顕微鏡、及び近接場光加工装置

Inventor： 井川 泰爾 ,  長谷川 誠 ,  土森 正昭 ,  渡辺 修 ,  多和田 昌弘
Applicant, Patent owner： 株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 中島 淳 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000004477
Publication number (International publication number)：2001194287
Application date： Jan. 13, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】簡易な構成を用いて、近接場光強度に影響を及ぼす光ファイバープローブの微小開口部の状態をその光ファイバープローブを使用する前に評価する。近接場光学顕微鏡、及び近接場光加工装置において、常に一定強度の近接場光を発生させる。【解決手段】光ファイバープローブ10の先端部34を光散乱用基板12に近接させ、光ファイバープローブ10にレーザ光を入力して発生させた近接場光を光散乱用基板12で散乱させ、光散乱用基板12からの散乱光を光検出器26で検出し、検出した散乱光の強度に基づいて、光ファイバープローブ10の先端部の微小開口部の状態を評価する。制御装置18により、散乱光の強度が所定値になるように光ファイバープローブ10に入力するレーザ光の強度を制御して、常に一定の近接場光強度を発生させて、再現性良く近接場光像を得ることができ、安定して近接場光加工を行うことができる。

Claim (excerpt)：

光ファイバープローブの先端部を光散乱用基板に近接させ、光ファイバープローブにレーザ光を入力して発生させた近接場光を光散乱用基板で散乱させ、光散乱用基板からの散乱光を検出し、検出した散乱光の強度に基づいて、光ファイバープローブの先端部の微小開口部の状態を評価する光ファイバープローブ評価方法。

IPC (3)：

G01N 13/14 ,  G01B 11/30 ,  G01M 11/00

FI (3)：

G01N 13/14 B ,  G01B 11/30 Z ,  G01M 11/00 T

F-Term (15)：

2F065AA00 ,  2F065BB12 ,  2F065CC23 ,  2F065DD00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL02 ,  2F065UU01 ,  2G086EE12