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J-GLOBAL ID：200903079241358950
プラズマ発生装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992147795
Publication number (International publication number)：1993343334
Application date： Jun. 09, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：
【要約】【目的】 空洞共振器のスリット開口面積に起因するプラズマ発生の偏りを低減できるようにする。【構成】 少なくとも1つのスリットを備えた空洞共振器にマイクロ波発振源からのマイクロ波を導いて共振させ、そのマイクロ波を前記スリットを介して処理室に放射することにより該処理室内にプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、前記空洞共振器に配設される共振子15を同一形状の2枚の板を同軸に且つ相対回転可能に構成し、その各々に設けられるスリット16を同一形状、同一サイズ及び同一位置に形成し、2つの円板の相対回転によって開口面積を可変できるようにし、プラズマの生成が均一になるようにする。
Claim (excerpt)：
少なくとも1つのスリットを備えた空洞共振器にマイクロ波発振源からのマイクロ波を導いて共振させ、そのマイクロ波を前記スリットを介して処理室に放射することにより該処理室内にプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、前記空洞共振器に配設される共振子のスリットの開口面積を可変する可変手段を設けたことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (2)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
