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J-GLOBAL ID：200903079274160889

高純度酸化亜鉛単結晶の製造方法および高純度酸化亜鉛単結晶

Inventor： 前田 克己 ,  鈴木 崇雄 ,  鎌田 和典 ,  藤澤 英夫
Applicant, Patent owner： 東京電波株式会社 ,  三菱化学株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006025983
Publication number (International publication number)：2007204324
Application date： Feb. 02, 2006
Publication date： Aug. 16, 2007
Summary：

【課題】酸化亜鉛単結晶を熱処理してLi濃度の十分に少ない高純度酸化亜鉛単結晶を製造し、熱処理後の加工工程で歩留まりを低下させることなく、酸化亜鉛単結晶の収率を向上させる高純度酸化亜鉛単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】酸化亜鉛単結晶の熱処理温度が1100〜1400°Cであり、該熱処理時間が(a)熱処理温度が1100°C以上1225°C以下の場合は式(1)を、(b)熱処理温度が1225°Cを超えて1400°C以下の場合は式(2)を満たすとともに、該熱処理温度からの降温処理を350°C/時間以下の降温速度で行う。[熱処理時間(時間)]≧-0.04×[熱処理温度(°C)]+50 式(1)[熱処理時間(時間)]≧1 式(2)【選択図】図5

Claim (excerpt)：

酸化亜鉛単結晶を熱処理して高純度酸化亜鉛単結晶を製造する方法において、 該熱処理温度が1100〜1400°Cであり、 該熱処理時間が (a)熱処理温度が1100°C以上1225°C以下の場合は式(1)を、 (b)熱処理温度が1225°Cを超えて1400°C以下の場合は式(2)を満たし、 該熱処理温度からの降温処理を350°C/時間以下の降温速度で行うことを特徴とする高純度酸化亜鉛単結晶の製造方法。 [熱処理時間(時間)]≧-0.04×[熱処理温度(°C)]+50 式(1) [熱処理時間(時間)]≧1 式(2)

IPC (2)：

C30B 29/16 ,  C30B 33/02

FI (2)：

C30B29/16 ,  C30B33/02

F-Term (9)：

4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077BB07 ,  4G077CB03 ,  4G077EB01 ,  4G077FE03 ,  4G077FE11 ,  4G077FE13 ,  4G077HA02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 酸化亜鉛単結晶
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-109729   Applicant：東京電波株式会社, 三菱化学株式会社
• 酸化亜鉛単結晶ウエファーの製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-276296   Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構, 東京電波株式会社

Cited by examiner (4)

• 酸化亜鉛単結晶ウエファーの製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-276296   Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構, 東京電波株式会社
• 特開平1-301597
  
• 特開平1-242499
  
• 特開昭62-226900