Pat
J-GLOBAL ID：200903079313619436
位置検出装置及び該装置を備えた投影露光装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995020325
Publication number (International publication number)：1996213306
Application date： Feb. 08, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：
【要約】【目的】 アライメント装置の焦点位置検出系として組み込んだ場合に、簡単な構成で焦点ずれ(デフォーカス)に対する検出感度を向上できる位置検出装置を提供する。【構成】 AF用位相パターン板17のパターン17aの像を平行平面板19、ダイクロイックミラー5、及び照明リレーレンズ6等を介してウエハ44上に投影し、ウエハ44上のパターンの像を第1対物レンズ8、第2対物レンズ9、ダイクロイックミラー10及び平行平面板20等を介して撮像素子21上に再形成する。平行平面板19(20)及びダイクロイックミラー5(10)よりなるコマ収差付与光学系でコマ収差を発生させて、撮像素子21上の像の非対称性を検出し、その非対称性よりウエハ44のデフォーカス量を求める。
Claim (excerpt)：
被検面の法線方向の位置を検出する装置において、前記被検面上に形成されているパターン、又は前記被検面に投影されるパターンよりなる被検パターンの像を形成する検出光学系と、前記被検パターンの像にコマ収差を発生させるコマ収差付与光学系とを有し、前記被検パターンの像の非対称性より前記被検面の位置を検出することを特徴とする位置検出装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/30 526 A
, H01L 21/30 515 D
