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J-GLOBAL ID：200903079341783659

偏光装置

Inventor： デイーテル・ミヒエル ,  エルウイン・シユパンネル
Applicant, Patent owner： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
Agent (1)： 江崎 光史 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991263852
Publication number (International publication number)：1993119284
Application date： Oct. 11, 1991
Publication date： May. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】 格子での分割によってできる限り等しい変調及び強度の干渉する部分光束を生じさせる干渉測定装置における偏光装置を創造することである。【構成】 本発明による偏光装置は次のように作用するための構成を有する。偏光装置では信号光束1が発生される。この信号光束1は干渉する部分光束から生じかつ直線偏光にされる。直線偏光にされた信号光束1の振動方位は前記部分光束の相互の位相に依存する。分割格子5では部分光束6、7、8が生じ、部分光束は検光子9、10、11で検光され、光電変換器12、13、14によって検出され、この際検出されたもの相互に電気的に位相差がある。

Claim (excerpt)：

干渉測定装置、特に長さ又は角度測定装置における位相差信号を発生するための偏光装置にして、干渉する複数の部分光束が検光可能な信号光束が発生さるように偏光され、そして少なくとも1 つの格子が信号光束のための分割格子として設けられている前記偏光装置において、信号光束(1、41、51、61、701、801)は直線偏光にされかつその振動方位は干渉する部分光束(40a、40b;50a,50b,60a,60b;70a,70b;80a,80b)の相互の位相状態に依存し、更に分割格子(5、19、20)によって発生したi(i=1、2・・n)個の光束がi個(i=2,・・n)の光電変換器(12、13、14;712:713:714;812:813:814)によって検出されそしてそのようにして発生した検出信号の相互の位相状態が各光路(6、7、8;76:77:78;86:87:88)の検光器(9、10、11;79:710:711;89:810:811)相互の主面の方位に依存することを特徴とする前記偏光装置。

IPC (4)：

G02B 27/28 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-115011
  
• 特開昭63-115012