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J-GLOBAL ID：200903079349350328
ウエーハ剥し装置およびウエーハ剥し方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991353865
Publication number (International publication number)：1993162915
Application date： Dec. 18, 1991
Publication date： Jun. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】 研磨工程を経たウェーハをウェーハ貼付プレートから剥し、洗浄用キャリヤに装填する一連の作業を自動化する。【構成】 プレート回転台21上でウェーハ貼付プレート1を回転させ、光センサ22がウェーハ貼付プレート1の基準点1aを検出すると回転が停止し、ウェーハ剥し機構20のアーム24と1枚のウェーハ3の中心とが一致する。シリンダ27が作動すると、ハンド25の爪26がウェーハ3とウェーハ貼付プレート1との隙間に食い込んでウェーハ3を剥す。次に軸23が回転して、ウェーハ3をウェーハ搬送ベルト31上に下ろし、ウェーハ3はキャリヤ2内に送られる。このような作業サイクルを1ロット分のウェーハ貼付プレートがすべて処理されるまで繰り返す。
Claim (excerpt)：
ウェーハ貼付プレートをウェーハ剥し機構に送るウェーハ貼付プレート搬送機構と、ウェーハ貼付プレートを載置して回転するプレート回転台と、ウェーハ貼付プレートに設けた基準点を検出するセンサと、上下動および回動するアーム先端に設けた開閉自在のハンドとを備えたウェーハ剥し機構と、ウェーハ搬送ベルトとキャリヤ昇降手段とを備えたウェーハ装填機構と、前記ウェーハ貼付プレート搬送機構、ウェーハ剥し機構、ウェーハ装填機構に対する制御装置とからなることを特徴とするウェーハ剥し装置。
IPC (4)：
B65H 29/54
, B24B 37/04
, B25J 13/08
, H01L 21/304 321
