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J-GLOBAL ID：200903079351103958

ボロメータ型赤外線検知素子およびそれを用いる赤外線イメージセンサ

Inventor： 山脇 千明 ,  出口 治彦
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999212779
Publication number (International publication number)：2001041818
Application date： Jul. 27, 1999
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】 シリコン基板12上に、一対の梁(リード)13によってサブストレート(ダイヤフラム)14が支持され、こうして前記シリコン基板12とは熱分離された該サブストレート14上に熱電変換素子15が形成されて成る遠赤外線検出器11において、熱コンダクタンスを低減し、感度の向上を図る。【解決手段】 梁13の厚さ(図1では配線パターン18を含んでいる)H1を、前記サブストレート14の厚さより厚くし、梁13の幅B1に対して、B1≦H1として、梁13のシリコン基板12方向への剛性を向上し、梁13の長さを素子ピッチPy以上として、熱コンダクタンスを低減する。

Claim (excerpt)：

基板に対して梁で支持され、該基板とは熱分離されたサブストレート上に熱電変換素子が形成されて成るボロメータ型赤外線検知素子において、前記梁の厚さを前記サブストレートの厚さより厚くして梁剛性を向上し、梁の長さを素子長さ以上として熱コンダクタンスを低減することを特徴とするボロメータ型赤外線検知素子。

IPC (2)：

G01J 1/02 ,  H01L 27/14

FI (2)：

G01J 1/02 C ,  H01L 27/14 K

F-Term (15)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA34 ,  2G065CA13 ,  2G065CA27 ,  4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AA10 ,  4M118CA14 ,  4M118CA35 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118GA10 ,  4M118GD15