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J-GLOBAL ID：200903079352564924
ターボ分子ポンプ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
竹本 松司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995165165
Publication number (International publication number)：1997014186
Application date： Jun. 30, 1995
Publication date： Jan. 14, 1997
Summary：
【要約】【目的】 締結部品のゆるみを低減させることができるターボ分子ポンプを提供する。【構成】 回転軸3と回転翼1とを締結する締結手段4を備えたターボ分子ポンプであって、この締結手段4は回転軸3あるいは回転翼に対する雄ねじ部材となる第1ねじと第2ねじを備えている。この第1ねじは第1の雄ねじ部を備えており、第2ねじは、この第1の雄ねじ部と螺合する雌ねじ部を内周面に有した第2の雄ねじ部と、第1の雄ねじ部を通す貫通孔を内部に有した第3の雄ねじ部とを備え、第2の雄ねじ部および第3の雄ねじ部の間に少なくとも一部に分離部が形成されている。第1ねじと第2ねじとの螺合させると、第2ねじの2つの雄ねじ部は分離部によって異なる方向に移動する。この移動方向の異方性によって、各雄ねじ部が被締結物に作用する方向を異ならせることができ、これによって、遠心力や振動により締結手段に作用するゆるみを減少させる。
Claim (excerpt)：
回転軸と回転翼とを締結する締結手段を備えたターボ分子ポンプであって、前記締結手段は第1ねじと第2ねじを備えた回転軸あるいは回転翼に対する雄ねじ部材であり、前記第1ねじは、第1の雄ねじ部を備え、前記第2ねじは、第1の雄ねじ部と螺合する雌ねじ部を内周面に有した第2の雄ねじ部と、第1の雄ねじ部を通す貫通孔を内部に有した第3の雄ねじ部とを備え、第2の雄ねじ部および第3の雄ねじ部の間に少なくとも一部に分離部が形成されており、前記第1ねじと第2ねじとの螺合によって、回転軸あるいは回転翼に対する第2の雄ねじ部および第3の雄ねじ部の接触方向を異ならせることを特徴とすターボ分子ポンプ。
IPC (2)：
FI (2)：
F04D 19/04 D
, F16B 35/00 Z
