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J-GLOBAL ID：200903079385850256

エツチング液およびそれを用いた液晶表示素子用基板の製造方法

Inventor： 榎本 隆 ,  檀上 桂志 ,  島宗 正幸
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 渡辺 徳廣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991218071
Publication number (International publication number)：1993005899
Application date： Aug. 05, 1991
Publication date： Jan. 14, 1993
Summary：

【要約】【目的】 均一なエッチングが可能で、電極間ショートを大巾に低減できるエッチング液及びそれを用いた液晶表示素子用基板の製造方法を提供する。【構成】 水中に溶質としてヨウ化水素、塩化第二鉄を含有するエッチング液、及び該エッチング液を用いて、基板上に成膜したITO(インジウム チン オキサイド)膜をエッチングし、ITO電極微細パターンを形成する液晶表示素子用基板の製造方法。エッチング液は、ヨウ化水素酸(HI,47〜57wt%)と塩化第二鉄水溶液(FeCl3 ,35wt%)の容積比が、1:0.1〜1.5の混合溶液が好ましい。

Claim (excerpt)：

水中に溶質としてヨウ化水素、塩化第二鉄を含有するエッチング液。

IPC (2)：

G02F 1/1343 ,  H05K 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-170581
  
• 特開平2-301906
  
• 特開昭61-145529