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J-GLOBAL ID：200903079398790090

基板搬送装置

Inventor： 徳島 忍 ,  徳永 雅昭 ,  深澤 和彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995098445
Publication number (International publication number)：1995302828
Application date： Aug. 28, 1987
Publication date： Nov. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】ウエハの損傷、発塵等なしに基板の位置決めを行うことができる基板搬送装置を提供する。【構成】ウエハ2の搬送中にアーム8でウエハ2を保持したままウエハ2の位置を検出し、アーム8からセンターテーブル7へウエハ2を渡す際、センターテーブル7の所定位置にウエハ2が渡されるように、その検出結果に基づきアーム8とセンターテーブル7とを相対移動させる。

Claim (excerpt)：

基板を保持する保持部材を有し、該保持部材を移動することで該保持部材に保持された基板を搬送する搬送手段と、該搬送手段から基板を受け取って、支持するテーブルと、前記搬送手段の基板搬送路途中の所定位置に設けられ、前記保持部材に基板を保持した状態で該基板の位置を検出する検出手段と、前記搬送手段から前記テーブルへ基板を渡す際に、前記テーブルの所定位置に基板が渡されるよう前記検出手段の検出結果に基づいて前記テーブルと前記保持部材とを相対的に移動させる移動手段と、を具備することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G01B 21/00