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J-GLOBAL ID：200903079441157682
液晶表示パネル及びその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山田 稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991218583
Publication number (International publication number)：1993053142
Application date： Aug. 29, 1991
Publication date： Mar. 05, 1993
Summary：
【要約】【目的】 工程数を大幅に増加させることなく、信号線の断線を確実に防止可能な液晶表示パネルおよびその製造方法を実現すること。【構成】 薄膜トランジスタ8の表面側に形成された層間絶縁膜13の表面側には、第1の接続孔13aを介してソース領域4に導電接続するクロム層14と、その表面上のアルミニウム層23とからなる信号線2aを有する。第2の接続孔13bを介しては、クロム層14と同時形成された埋め込み電極層21がドレイン領域7に導電接続する。これらの表面側には、厚いポリイミド層31が形成され、その接続孔31aを介して画素電極32が埋め込み電極層21に導電接続し、その端部32aは隣接する画素領域1bの信号線2b近傍まで延びている。
Claim (excerpt)：
画素領域の薄膜トランジスタの表面側に形成された層間絶縁膜の表面側には、その第1の接続孔を介して前記薄膜トランジスタのソース領域に導電接続する信号線と、その第2の接続孔を介して前記薄膜トランジスタのドレイン領域に導電接続する画素電極と、を有し、前記信号線は、前記第1の接続孔を介して前記ソース領域に導電接続する第1の金属配線層と、この金属配線層の表面上に形成された第2の金属配線層とを備え、前記第1の金属配線層は、前記第2の金属配線層をエッチング形成するエッチャントに対する耐エッチング性が前記第2の金属配線層を構成する金属材料に比して高い金属材料からなることを特徴とする液晶表示パネル。
IPC (3)：
G02F 1/136 500
, H01L 27/12
, H01L 29/784
