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J-GLOBAL ID：200903079466543625

位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法

Inventor： 堆 浩太郎 ,  伊藤 博仁
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997308608
Publication number (International publication number)：1999142555
Application date： Nov. 11, 1997
Publication date： May. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】 位置決め装置に生じる振動を軽減させ、高速高精度な位置決め装置を提供する。【解決手段】 位置決め装置の構成部材である天板に中空構造を設け、中空構造内に減衰材を注入し、天板に生じる振動を軽減させる。

Claim (excerpt)：

位置決め装置を構成する構造部材に中空構造を設け、該中空内に減衰材を封入したことを特徴とする位置決め装置。

IPC (6)：

G12B 5/00 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  G05D 3/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (7)：

G12B 5/00 T ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  G05D 3/00 A ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 520 A