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J-GLOBAL ID：200903079490960482

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 小林 英一 ,  西山 覚 ,  矢田 勇二
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998361467
Publication number (International publication number)：2000181066
Application date： Dec. 18, 1998
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】 紫外線、遠紫外線、荷電粒子線、X線の如き各種の放射線に有効に感応し、感度、解像度、PED安定性、パターン形状に優れるとともに、特に「ナノエッジラフネス」あるいは「膜面荒れ」を生じることがなく、高精度の微細なレジストパターンを安定して形成することができる化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 組成物は、(A)p-ヒドロキシスチレン/p-t-ブトキシスチレン共重合体で代表される、カチオン重合を経て得られる共重合体、および(B)感放射線性酸発生剤を含有する。

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位とを有し、カチオン重合を経て得られる共重合体、および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子またはメチル基を示す。〕【化2】〔式(2)において、R2 は水素原子またはメチル基を示し、R3 は炭素数4〜10の3級アルキル基を示す。〕

IPC (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (17)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA11 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB51 ,  2H025CB56