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J-GLOBAL ID：200903079498444408

感光性樹脂組成物およびその用途

Inventor： 佐藤 弘章
Applicant, Patent owner： 日本合成化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998188146
Publication number (International publication number)：2000010266
Application date： Jun. 17, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 追従性に優れ、PDP等の大形ガラス基材上に電極を形成する等のパターン形成用途に有用な感光性樹脂組成物及びそのフォトレジストフィルムを提供すること。【解決手段】 重量平均分子量4万未満のベースポリマー(a)100重量部に対して、エチレン性不飽和化合物(b)を90〜150重量部、光重合開始剤(c)を0.1〜30重量部、及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(d)を含有してなる感光性樹脂組成物及びそのフォトレジストフィルム。

Claim (excerpt)：

重量平均分子量4万未満のベースポリマー(a)100重量部に対して、エチレン性不飽和化合物(b)を90〜150重量部、光重合開始剤(c)を0.1〜30重量部、及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(d)を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  H01J 9/02 ,  C08F 2/44 ,  C09D 4/06

FI (5)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  H01J 9/02 F ,  C08F 2/44 C ,  C09D 4/06

F-Term (71)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC31 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CB14 ,  2H025CB20 ,  2H025CB22 ,  2H025CB43 ,  2H025CB55 ,  2H025CC20 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011PA25 ,  4J011PA28 ,  4J011PA69 ,  4J011PB40 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA15 ,  4J011QA17 ,  4J011QA33 ,  4J011QA34 ,  4J011QA46 ,  4J011RA03 ,  4J011RA12 ,  4J011SA02 ,  4J011SA04 ,  4J011SA14 ,  4J011SA16 ,  4J011SA17 ,  4J011SA19 ,  4J011SA22 ,  4J011SA23 ,  4J011SA25 ,  4J011SA29 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA38 ,  4J011SA42 ,  4J011SA61 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA75 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011TA08 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J011WA02 ,  4J038CG031 ,  4J038CG141 ,  4J038EA011 ,  4J038FA012 ,  4J038GA01 ,  4J038GA03 ,  4J038GA06 ,  4J038JA36 ,  4J038KA04 ,  4J038MA14 ,  4J038PA17 ,  5C027AA01