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J-GLOBAL ID：200903079506375500

記録ヘッド用板状基体およびその製造方法ならびに前記記録ヘッド用板状基体を用いた記録ヘッドとこれを搭載する液体噴射記録装置

Inventor： 藤田 桂
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995103023
Publication number (International publication number)：1996276597
Application date： Apr. 04, 1995
Publication date： Oct. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 テーパー状のスルーホールを形成する工程を改善して歩留まりを向上させる。【構成】 基板11はバイポーラトランジスタを内蔵するもので、その表面は絶縁のための層間膜12で覆われており、層間膜12のテーパー状のスルーホール12aによって図示しない電気熱変換素子とバイポーラトランジスタが接続される。スルーホール12aは、層間膜12にフォトレジスト13を塗布し、これを水蒸気雰囲気に接触させながら加熱することでフォトレジスト13に溶媒水分濃度勾配を発生させたうえでフォトレジスト13にテーパー状の開口13aをパターニングし、層間膜12の露出部分をエッチングすることで形成される。

Claim (excerpt)：

絶縁層とその下に配設された駆動回路を有する基板と、該基板の前記絶縁層の表面に被着された電気熱変換手段を備えており、前記絶縁層に形成された少なくとも1個のテーパー状のスルーホールによって前記電気熱変換手段が前記駆動回路に電気接続されている記録ヘッド用板状基体であって、前記スルーホールが、前記絶縁層にフォトレジストを被着させその膜厚方向に所定の溶媒水分濃度勾配を発生させたうえで前記フォトレジストに開口をパターニングする工程と、パターニングされたフォトレジストの開口を通して前記絶縁層をエッチングする工程を有するリソグラフィによって形成されたものであることを特徴とする記録ヘッド用板状基体。

IPC (4)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/05 ,  C23F 1/00 102 ,  H01L 21/027

FI (4)：

B41J 3/04 103 H ,  C23F 1/00 102 ,  B41J 3/04 103 B ,  H01L 21/30 566