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J-GLOBAL ID:200903079514940640

光スイッチ素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001189604
Publication number (International publication number):2003005099
Application date: Jun. 22, 2001
Publication date: Jan. 08, 2003
Summary:
【要約】【課題】 ミラータイプでありながら、加工精度の影響が少なく、組立の容易な、精度の良い光スイッチ素子を供給する。【解決手段】少なくとも、支持枠と、支持枠の相対する内端から中央に延びる可撓性を有する2つの支持部と、該2つの支持部に支持され両端に櫛歯を有するミラー体と、前記櫛歯に隙間をもって係合するよう支持枠内端に形成された櫛歯を具備する光スイッチ素子において、前記ミラー体上面に、上面にミラーを設けた凸部または凹部を形成した光スイッチ素子とする。さらに凸部または凹部を階段状とする。あるいは凸部を3角柱とする。
Claim (excerpt):
少なくとも、支持枠と、支持枠の相対する内端から中央に延びる可撓性を有する2つの支持部と、該2つの支持部に支持され両端に櫛歯を有するミラー体と、前記櫛歯に隙間をもって係合するよう支持枠内端に形成された櫛歯を具備する光スイッチ素子において、前記ミラー体上面に、上面にミラーを設けた凸部または凹部を形成したことを特徴とする光スイッチ素子。
F-Term (6):
2H041AA12 ,  2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08

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