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J-GLOBAL ID:200903079542218003

画面検査方法及びその装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 森本 義弘
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998248870
Publication number (International publication number):2000076445
Application date: Sep. 03, 1998
Publication date: Mar. 14, 2000
Summary:
【要約】【課題】 表示素子および受光素子に現れる微弱点欠陥の凝集した部分に対しても、その画面むらを目視検査の場合に対応させて精度よく検査することができる画面検査方法及びその装置を提供する。【解決手段】 背景濃度との濃度差に応じて抽出されたラベルに対して、近傍ラベル間のラベル面積と距離に応じて評価値を求め、ラベルの面積を膨張させ、最終的に画面内のラベル面積を判定することにより、画面むらを検出する。
Claim (excerpt):
表示素子あるいは受光素子の製造工程において、前記表示素子あるいは受光素子における欠陥が現れた画面を撮像して得られる濃淡画像の各画素の濃度データに基づいて、前記濃度データがその周辺部に比較して変化している微弱点欠陥の凝集している部分に対するラベル処理によるラベル画像により、画面むらを検出する画面検査方法であって、前記ラベル処理により得られたラベルの面積を求め、その面積が所定値より小さいラベルを除去するラベル面積判定工程と、前記ラベル同士の距離を求め、その距離が最小のラベルを検出するラベル間距離判定工程と、前記ラベル間距離判定工程で検出されたラベルの面積とそれらの距離とから計算される評価値により、各ラベルの面積を変換して大きくするラベル面積変換工程と、前記ラベル面積変換工程をすべてのラベルに対して行い、最終的なラベル面積の合計を前記画面むらの評価値として判定する画面むら判定工程とを有することを特徴とする画面検査方法。
F-Term (12):
5B057BA02 ,  5B057BA13 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE11 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC03 ,  5B057DC04

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