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J-GLOBAL ID:200903079545275300

回折光学素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993259640
Publication number (International publication number):1995113907
Application date: Oct. 18, 1993
Publication date: May. 02, 1995
Summary:
【要約】【目的】 断面が矩形のグレーティングを有する回折光学素子において、グレーティング周期の小さい領域でも斜め入射光に対する回折効率の低下を防止する。【構成】 基板1上に形成された矩形断面を有するグレーティング部2のグレーティング周期に応じて、デューティ比(1つの周期における空気層以外の領域の割合)を最適な値となるように変化させる。
Claim (excerpt):
基板と、前記基板上に形成されたグレーティング部を具備する回折光学素子であって、前記グレーティング部の断面は矩形形状であり、前記グレーティング部の周期に応じて前記グレーティング部の矩形断面のデューティ比(1つの周期における空気層以外の領域の割合)が異なることを特徴とする回折光学素子。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開昭64-076002

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