高抵抗スズドープ酸化インジウム膜付ガラス

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：東海裕作 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994085970
Publication number (International publication number)：1995277771
Application date： Mar. 31, 1994
Publication date： Oct. 24, 1995
Summary：

【要約】【目的】高抵抗かつ均一性に優れたスズドープ酸化インジウム膜付ガラスを提供する。【構成】第三成分をInに対して0.05〜20原子%添加してなるスズドープ酸化インジウム膜付ガラス。【効果】200〜3000Ω/□のシート抵抗値を有し、かつ、リニアリティ値が±2%以内である均一性に優れた透明導電膜付ガラスであり、ペン入力タッチパネル等に好適に使用することができる。

Claim (excerpt)：

第三成分を添加して成膜することを特徴とするスズドープ酸化インジウム膜付ガラス。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開平4-206403
特開平2-194943
特開昭57-042537

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