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J-GLOBAL ID：200903079553902569

選ばれたキレート樹脂及びレジスト成分から多価金属不純物を除去するためのそれらの使用

Inventor： ケンジ・ホンダ
Applicant, Patent owner： オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
Agent (1)： 高木 千嘉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993155969
Publication number (International publication number)：1994128321
Application date： Jun. 28, 1993
Publication date： May. 10, 1994
Summary：

【要約】【構成】 4-ホルミル-ベンゾ-15-クラウン-5、4-ホルミル-ベンゾ-18-クラウン-6、3,4-ジヒドロキシベンズアルデヒド、3-エトキシサリチルアルデヒド、サリチルアルデヒド、2-ピリジンカルボキスアルデヒド、3-ピリジンカルボキスアルデヒド、4-ピリジンカルボキスアルデヒド及びピロール-2-カルボキスアルデヒドから成る群から選ばれた芳香族アルデヒドと、アミン反応サイトを含む橋かけされたポリマービーズキレート樹脂との反応生成物によって特徴付けられる化学的に改質されたキレート樹脂。【効果】 レジスト成分溶液またはレジスト組成物溶液から、接触によって多価金属(鉄、クロム、銅、コバルト及びカルシウムを含む)を除去するための方法に用いるキレート樹脂として有用である。

Claim (excerpt)：

4-ホルミル-ベンゾ-15-クラウン-5、4-ホルミル-ベンゾ-18-クラウン-6、3,4-ジヒドロキシベンズアルデヒド、3-エトキシサリチルアルデヒド、サリチルアルデヒド、2-ピリジンカルボキスアルデヒド、3-ピリジンカルボキスアルデヒド、4-ピリジンカルボキスアルデヒド及びピロール-2-カルボキスアルデヒドから成る群から選ばれた芳香族アルデヒドと、アミン反応サイトを含む橋かけされたポリマービーズキレート樹脂との反応生成物によって特徴付けられる化学的に改質されたキレート樹脂。

IPC (5)：

C08F 8/28 MGY ,  B01J 45/00 ,  C08F 12/08 MJT ,  C09K 3/00 107 ,  H01L 21/027