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J-GLOBAL ID：200903079554570748

ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 平岡 良一 ,  梶田 徹 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992358731
Publication number (International publication number)：1994202317
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 特にフォーカス許容性に優れるとともに、感度、解像度、残膜率、現像性、パターン形状および耐熱性にも優れたレジストとして有用なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 (イ)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、および(ロ)フェノール類とジシクロペンタジエンとの共重合体のキノンジアジドスルホン酸エステルを含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(イ)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、および(ロ)フェノール類とジシクロペンタジエンとの共重合体のキノンジアジドスルホン酸エステルを含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027