電子ビーム装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：平戸哲夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998093796
Publication number (International publication number)：1999296916
Application date： Apr. 07, 1998
Publication date： Oct. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】光ディスクの原盤を作製する場合に使用される電子ビーム装置に関し、電子ビーム鏡筒群を備え、スループットの向上を図ると共に、不良の電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができるようにする。【解決手段】原盤作製用ディスク2の回転中心14から異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒21-1〜21-4、22-1〜22-4、23-1〜23-4、24-1〜24-4を回転対称に配置してなる電子ビーム鏡筒群6を設け、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所の電子ビーム照射を回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行う。

Claim (excerpt)：

原盤作製用ディスクを保持させて回転させるための原盤作製用ディスク保持手段と、前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクの回転中心から異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒を回転対称に配置してなる情報記録用電子ビーム鏡筒群と、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出する不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段とを備えていることを特徴とする電子ビーム装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

光ディスク原盤記録方法及びその装置並びに光ディスク
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-196655 Applicant：株式会社東芝
特開平2-214046
特開平2-214046

Show all

Return to Previous Page