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J-GLOBAL ID：200903079575269908

膜厚測定装置

Inventor： 押本 敦
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993156494
Publication number (International publication number)：1995035514
Application date： Jun. 28, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 測定時に試料の変質が生じない膜厚測定装置を提供する。【構成】 被測定試料10を載せるステージ11と、被測定試料10およびステージ11に光を照射する光源12と被測定試料10を撮影し被測定試料10の表面からの反射光を検出するカメラ13とを有する実体顕微鏡1と、カメラ13により検出された被測定試料10の表面状態を画像情報として保存する画像記憶部2と、画像記憶部2に記憶した画像情報を処理する画像処理部3と、画像処理部3による処理結果を基に被測定試料10の膜厚を解析する膜厚解析部4と、入力画像の濃淡が適正な範囲になるようにカメラ13を制御するカメラ露出制御回路5とから構成される。また、膜厚解析部4は、予め実験により求めた平均濃淡値,代表濃淡値および膜厚の相関を示すデータを基準データ41を備えている。

Claim (excerpt)：

被測定試料の表面に光を照射する光源と、前記被測定試料からの反射光を撮影するカメラ部と、このカメラ部の露出を制御するカメラ露出制御部と、前記カメラ部が撮影した画像を画像情報として記憶する画像記憶部と、記憶した画像情報から背景部分と被測定試料部分とを識別する背景識別部と、識別された前記被測定試料部分の画像情報から任意の箇所を切り出しその範囲の平均濃淡値を計算する平均濃淡値計算部と、前記切り出した範囲の画像情報の濃淡ヒストグラムを算出する濃淡ヒストグラム算出部と、算出した前記濃淡ヒストグラムから前記被測定試料部主要部の代表的な濃淡値を計算する代表濃淡値計算部と、計算した前記平均濃淡値,前記代表濃淡値および予め備える基準データとを基に解析し被測定試料の膜厚を求める膜厚解析部とを備えることを特徴とする膜厚測定装置。

IPC (3)：

G01B 11/06 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/00

FI (2)：

G06F 15/62 380 ,  G06F 15/70 325