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J-GLOBAL ID：200903079596601708
ケミカルコリメータ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994166551
Publication number (International publication number)：1996031804
Application date： Jul. 19, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】混合粒子ビームから特定の粒子を除去する機能を有するコリメータを提供する。【構成】除去したい粒子を吸着しやすい材質を選び、直径D、長さLの孔が複数個開いているマルチアパーチャ構造のコリメータを作成する。更に、孔の軸と上記入射粒子ビームの間の角度θを調節して、入射粒子が孔の中で一回以上衝突するようにする。更に、コリメータに加熱または冷却機構を具備させ、吸着係数がなるべく大きくなるような温度Tにする。【効果】吸着確率の高い粒子、すなわち従来深い孔に堆積してエッチングを妨げていた粒子は該コリメータの内壁に吸着されて除去され、口径の小さな深い孔をスムーズにエッチングできる。
Claim (excerpt)：
複数の種類の粒子が混合した入射粒子のビームが、コリメータを通過する際、上記入射粒子のうち除去したい粒子を上記コリメータの内壁に吸着させることを特徴とするケミカルコリメータ。
IPC (2)：
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